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检测设备2020年04月21日

新华网上海1月15日电(记者高少华)核心装备及部分原材料依赖进口、外延芯片缺乏核心专利、测试方法及装备支撑不足 一直以来,我国产业与国际先进水平存在诸多差距。而作为生产核心设备,MOCVD(金属有机化学气相沉积)设备有望率先告别 进口依赖 。

光达光电设备科技(嘉兴)有限公司日前推出国内首台自带高亮度工艺MOCVD产品,标志中国企业在LED芯片生产核心装备国产化道路上取得新突破。

光达光电首席技术官梁秉文介绍,光达光电MOCVD设备将自带超高亮度LED生产工艺,犹如照相机领域的 傻瓜机 ,可以让技术人员更容易操作,从而降低企业人工及运营本钱。目前,光达光电已完成其MOCVD装备的调试,并与部份国内客户达成合作意向;与此同时,公司正在进行更高技术规格产品的开发,预计2013年出货。

MOCVD装备实现国产,意义非凡。近年来,凭仗高效节能、绿色环保等特点,LED产业在国内获得快速发展。据科技部发布的《半导体照明科技发展 125 专项规划》,到2015年,LED产业规模预计将达到5000亿元。

而作为生产LED芯片的关键设备,我国MOCVD装备近年绝大部分依赖进口,市场被欧美企业垄断。

数据显示,MOCVD装备采购近两年出现 疯狂 增长,2010年前中国大陆MOCVD总装机量只有150台左右,2010年年底增至350台,2011年年底更是达到近700台。而有统计显示,截至2012年11月底,国内量产MOCVD设备数量已达到909台。

专业研究机构SEMI中国资深分析师兼LED项目经理戚发鑫告知记者,近两年中国大陆的MOCVD装备增速已位居全球首位,同时也成为全球两大MOCVD设备企业AIXTRON(爱思强)和VEECO(维易科)的最大收入来源。

在业内人士看来,量产型MOCVD依托进口,严重制约着国内LED产业的自主化发展。据介绍,一台进口MOCVD装备的售价目前约为1500万元左右。

为打破国内LED产业受制于人的局面,科技部发布的《半导体照明科技发展 十二五 专项规划》明确提出, 十二五 期间将 实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化 。

遵守这一发展思路,从2011年开始,国内包括思捷爱普、理想能源等在内的多家LED装备企业开始尝试推出国产化MOCVD设备。截至2012年年底,国内已有近20家企业和科研团队宣布涉足MOCVD设备技术研发。

历史已到了一个转折点,中国LED产业需要有实力的、属于自己的MOCVD公司的出现,以提升整个LED产业的技术及创新能力。 光达光电有关负责人表示。

国家半导体照明工程研发及产业联盟副秘书长唐国庆认为,MOCVD设备国产化成功,意味着长期由国外垄断的技术将被打破,国内众多LED企业将告别对国外产品的完全依赖,缩短和世界的差距,国内LED自主产业生态链也将更加完善。

(来源:新华网)

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