8英寸IGBT芯片助力集成电路产业化新时代

6月20日，国内首条、世界第二条的8英寸IGBT（绝缘栅双极型晶体管）专业芯片生产线在中国南车株洲电力机车研究所有限公司（以下简称南车株洲所）建成，中国首片8英寸I作者：GBT芯片同时下线。这条生产线总投资15亿元，首期将实现年产12万片8英寸IGBT芯片，配套生产100万只IGBT模块，真正实现IGBT的国产化。它的投产将打破国外公司在高端IGBT芯片技术上的垄断，对于保障国民经济安全、推动两型社会建设具有重大战略意义。

为实现我国在高端IGBT化关键技术上的突破，国家科技重大专项 极大规模制造装备与成套工艺专项 重点支持南车株洲所牵头开展了攻关，湖南省科技厅将该项目列入 省承接国家科技重大专项成果转化专项 和 省战略性新兴产业科技攻关与重大科技成果转化项目 重点项目，对南车株洲所进行了连续支持。经过多年的研发，南车株洲所攻克了 0多项重大难题，终于掌握了IGBT产品设计、芯片制造、模块、可靠性试验、系统应用等成套技术，成功研制出从650伏到6500伏高功率密度IGBT芯片及模块，形成了IGBT的完整产业链。其产业规模和技术实力都达彭于晏进行了8个月训练准备到了国际领先水平，特别是在沟槽技术、高能离子注入、超薄片加工、激光退火与铜金属化工艺等关键技术的运用方面都走在国际前列。

这条8英寸IGBT专业芯片线全面建成投产后，年产值预计可突破20亿元。同时，按照全球IGBT技术发展趋势，南车株洲所正在研发第五代、预研第六代IGBT技术，以持续确保我国在IGBT产业上的技术支撑与核心竞争力。